真空装置の製造&関連製品
各種真空装置 (一例です)
減圧乾燥装置
VD-400
概要
本装置は、減圧チャンバーでレジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥させる装置です
バタフライバルブを採用しており、真空排気能力の設定が可能です
仕様
外形寸法 1000mm x 800mm x 1600mm
チャンバー 外寸法 400mm x 400mm 高さ 103mm (フタ閉時)
内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm
真空系 到達真空度 1Pa 以下 (無負荷時)
減圧方式 圧力モード 設定圧力に到達後、自動的に大気解放
時間モード 設定時間に到達後、自動的に大気解放
ユーティリティー
電源 ３φ 200A
ドライエアー 0.4～0.6MPa
真空排気、架台内排気
装置重量 約250kg
