真空装置の製造&関連製品
各種真空装置 (一例です)
プラズマエッチング装置 (改造案件)
既設装置の改造
エッチング処理装置に改造
改造目的
- エッチング作業時のガスガス雰囲気状態の数値制御を可能にする
- 冷却エッチングステージ (下部電極ステージ) の冷却能力の向上
- 排気系操作性の向上
改造および組み立て内容
- 冷却機構改造：
冷却エッチングステージ冷却パイプの接続中継ジョイントを変更
試料受けステージ部の熱伝導を向上させる改造 - 真空系改造：
雰囲気状態を数値で制御が可能にするために、全圧真空計の追加取り付け
既存高真空用真空計を搬送室に移動し、新たに全圧真空計をエッチング室に取り付け
新たに真空計取付用の変換フランジとキュービクル配管を設け、各々の真空計を組み込み
